Mikroelektronik, 2 Bde., Bd.2, Herstellprozesse für integrierte Schaltungen (Kamprath-Reihe) (Gebundene Ausgabe)
von Bernhard Hoppe


 
Kurzbeschreibung:
Die Verfahren und Techniken der Siliziumtechnologie für mikroelektronische Anwendungen werden vorgestellt. Die einzelnen Prozeßschritte zur Herstellung von CMOS- und Bipolar-ICs werden ausgehend von einkristallinen Siziliumwafer bis zur Verkapselung in Plastikgehäusen behandelt. Das Buch deckt in praxisgerechter Tiefe ab, was der Mikroelektronikanwender über Möglichkeiten und Limitierungen der IC-Technologie wissen sollte.

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Siehe auch folgende Artikel:
Mikroelektronik, 2 Bde., Bd.1, Prinzipien, Bauelemente und Werkstoffe der Siliziumtechnologie (Kamprath-Reihe) von Bernhard Hoppe
Silizium-Halbleitertechnologie (Teubner Studienbücher) von Ulrich Hilleringmann
Sonstige Artikel:
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